Yamato雅马拓洁净厌氧高温气氛炉

Yamato雅马拓洁净厌氧高温气氛炉

特点

最高工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于 20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固 化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可 在洁净的环境下进行高温烘烤。 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受 热量影响。 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检 测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏 电漏电保护开关等安装装置。

Yamato雅马拓洁净厌氧高温气氛炉

支持各个领域的研究开发以及生产技术的革新、

为科学技术的进步和发展做出贡献。

作为雅马拓科学集团的重要一员，不断向客户提供最新、最有价值的产品和确保安全、令客户安心的服务，与集团公司通力合作，积极

拓展集团事业。

为达到目标，本公司以实验室仪器、实验室设备、产业机器为产品核心，进行设计开发、生产、销售和服务，通过建立高效的团队、先

进的装备、完善的体制，来向客户提供优质的产品和服务。

秉承企业的经营理念，所有企业活动都积极配合环境保护活动，以实现公司盈利的同时也能达到环境保护为目标。

1. 遵守环境保护的相关法律

  遵守国家环境保护的相关法律和企业对于环境保护制定的相关规定。

2. 以减少环境污染为宗旨，改善作业流程

  有效利用资源和能量、减少废弃物，消除作业过程中的浪费、不合理等现象。

3. 推进以减少环境负荷为宗旨的企业活动

  积极推进从设计、采购、生产到销售、物流、使用、再生、废弃整个作业流程以降低环境负荷为主的活动。

4. 开发环保型商品和体系

  致力于环境保护技术的提高，并且贯穿于整个产品的开发过程，开发环保产品和系统。

5. 环境管理系统的充实与开展

  制定环境方针的目的、目标，通过定期的评估达到连续改进和预防污染的效果。

6. 环境方针政策的通知与公开

及时让公司全体员工了解有关环境保护的方针政策，向全体员工推行“充分理解后再行动"的环境知识普及活动，并且

将公司制定的有关环境保护的方针政策向外界公布。