Horiba质量流量控制器S48-28、S48-32是horiba的畅销产品，流量从0-10sccm，到0-50SLM，精度1%，电源有±15V和24V可选，输出信号有4-20mA、0-5V可选。任意角度安装，高精度响应快，可自动调零。

Horiba气体质量流量计S500低成本、模拟式，最大流量30L/min，可以直接测量管道内流体的质量流量。