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简要描述:SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100特点:1、最小流量1sccm,最大流量1000SLM;2、最高精度0.3% ;3、不受压力影响;3、可选多种数字通讯:RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。
SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100
特点:
1、可测量小流量1sccm,大流量1000SLPM;
2、最高精度0.3% ;
3、不受压力影响;
4、可选多种数字通讯:RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。
SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100
SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100 技术参数:
型号 | 选择通讯方式 | 选择供电方式 |
SEC-N112MG、 SEC-N122MG、 SEC-N132MG、 SEC-N142MG、 SEC-N172MG | 数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ▶0~5VDC | HORIBA可提供PE系列供应电源 |
SEC-N114MG、 SEC-N124MG、 SEC-N134MG、 SEC-N144MG、 SEC-N174R | DeviceNet™ 通讯 | 符合ODVA标准 |
SEC-N115MG、 SEC-N125MG、 SEC-N135MG、 SEC-N145MG、 SEC-N175R | CC-Link®通讯 模拟式通讯 ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC) |
SEC-N116MG、 SEC-N126MG、 SEC-N136MG、 SEC-N146MG、 SEC-N176R | PROFIBUS™ 通讯方式 |
符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC) |
模拟式通讯 | ||
▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N117MG、 SEC-N127MG、 SEC-N177R | EtherCAT®通讯方式 | 符合EtherCAT®标准24VDC ± 4V |
SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100 选型资料
SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100 局部图片
Horiba品牌介绍
HORIBA是著名的半导体设备供应商,主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。
畅销型号
数字型质量流量控制器:
低成本数字型质量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
液体质量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
管件阀门:Valex不锈钢管1/4"EP别、Valex不锈钢管1/2"EP别、Valex不锈钢管3/8"EP别、1/2隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4隔膜阀S4DVN-VM-P、1/4单向阀S4CHV1-VM-P、PFA管、PFA喷枪。
防爆温湿度变送器KGC.EX/8、KKC3.EX/8、防爆风速变送器TA10、SS.220、风速变送器F500。
售后服务
Horiba有完善的售后服务。在上海嘉定有专门的售后服务部,全国各主要城市有售后工程师常驻,产品出现问题在12小时内相应。
SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100
可以为所有客户提供混合气体。混合气体用途多样,例如用于评估气体传感器或测试金属腐蚀情况。在气体传感器或金属材料的研发中,对传感器或金属进行专项质量评估至关重要。在测试工艺过程中控制气体的湿度平衡相当困难,但是可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度:气体 MFC(SEC-Z512MGX)、液体 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000)。