horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

Horiba质量流量控制器SEC-N100系列特点：$n1、直接测量管道内流体的质量流量$n2、工作稳定可靠$n3、适应的流体介质面宽$n4、广泛的应用环境$n5、多种实时在线测控功能$n6、可扩展性好

Horiba质量流量计 SEC-E40V SEC-E40V是国产化的SEC-E40, 进口核心部件，国内组装 具备自动调零功能 高精度 高速响应 配备应对各种用途的机型

horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通讯 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

SEC-Z522MGX horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计SEC-Z514MGX/Z524MGX$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n数字通讯：DeviceNet

horiba高精度气体质量流量计Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

数字式气体质量流量计SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100$n特点：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受压力影响；3、可选多种数字通讯：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。