GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD$nHoriba 压力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的畅销产品，实现晶圆背面气体的压力控制器，该气体用于冷却晶圆表面温度。$n常用气体是氦气和氩气。$nGR312F压力控制器是0-5V或者RS485通讯，可以选择GR317F，实现EtherCAT通讯。

晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F GR312F，热门型号是GR-511F，又称压力自动调节阀， 用于半导体晶圆生产中晶圆背面压力的控制器，实现冷却系统的冷却功能。

UR-Z712M-B是horiba数字式压力控制器压力调节阀中的畅销款，$n控制该压力控制器前端的压力。$n$n控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯；$n主要功能消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型）。

UR-Z714M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3中的畅销款， 模块化的IGS接口形式。 控制该压力控制器前端的压力。 多用于消除后端压力波动对前端腔体压力的影响，又被称为：入口控制型。 控制压力范围20-950KPa， Devicenet数字通讯 接口IGS IGS 14W3

UR-Z734M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z734中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， Devicenet数字通讯 消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型）

UR-Z724M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z724中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， Devicenet数字通讯 消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型）

UR-Z714M-B是horiba数字式压力控制器压力调节阀UR-Z714 中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar Devicenet数字通讯 消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型）

UR-Z712M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z712中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯； 消除后端压力波动对前端腔体压力的影响（入口控制型）。

UR-Z732M-B控制该压力控制器前端的压力。 horiba数字式压力控制器UR-Z732MB 控制压力范围10-500KPa， 数字通讯 消除后端压力变动对前端腔体压力的影响（入口控制型）

UR-Z722M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z700中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯 消除大流量气路切换引起的串扰影响（出口控制型）