horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

Horiba质量流量控制器SEC-N100系列特点：$n1、直接测量管道内流体的质量流量$n2、工作稳定可靠$n3、适应的流体介质面宽$n4、广泛的应用环境$n5、多种实时在线测控功能$n6、可扩展性好

Horiba质量流量计 SEC-E40V SEC-E40V是国产化的SEC-E40, 进口核心部件，国内组装 具备自动调零功能 高精度 高速响应 配备应对各种用途的机型

Horiba 液体质量流量计LF-F40M-A LF-F60M-A，量程分别是5g/min、100g/min，精度1%。$nHoriba LF-F液体流量计，只测量流量，不控制流量。$n适应于低沸点液体、高粘度液体。$n畅销型号：LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO

Horiba 液体质量流量计LF-F20M-A LF-F30M-A，量程分别是0.02g/min、0.5g/min，精度1%。 Horiba LF-F液体流量计，只测量流量，不控制流量。 适应于低沸点液体、高粘度液体。 畅销型号：LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO

Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计， 量程100g/min, 精度1%。适应于低沸点液体、高粘度液体。 微小液体质量流量控制器LV-F控制液体流量，液体质量流量计LF-F测量液体流量。 畅销型号：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A

Horiba汽化器MV-2000 液体转气体流量计采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。可实现高沸点液体的稳定汽化。$n$n· 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体$n$n· 气液混合部分温度可到MAX140℃$n$n· 蒸发区汽化温度MAX 200℃

Horiba直接注入式汽化器VC-1420能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。 在测试工艺过程中控制气体比例和湿度平衡相当困难，可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度：气体 MFC（SEC-Z512MGX、N112MGX、）、液体 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。

GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD$nHoriba 压力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的畅销产品，实现晶圆背面气体的压力控制器，该气体用于冷却晶圆表面温度。$n常用气体是氦气和氩气。$nGR312F压力控制器是0-5V或者RS485通讯，可以选择GR317F，实现EtherCAT通讯。

晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F GR312F，热门型号是GR-511F，又称压力自动调节阀， 用于半导体晶圆生产中晶圆背面压力的控制器，实现冷却系统的冷却功能。