Horiba S600数字式气体质量流量计，又称气体质量流量控制器，可以准确控制气体流量。 Horiba S600是高性价比的数字式质量流量计，用于进口的品质、国产的价格。 精度可达0.3%F.S. 量程最小3sccm，量程最大500slm。 有多种数字通讯信号可选，RS485、DeviceNet、EtherCAT、Modbus、Profibus、ProfiNet。

horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

Horiba质量流量控制器SEC-N100系列特点： 1、直接测量管道内流体的质量流量 2、工作稳定可靠 3、适应的流体介质面宽 4、广泛的应用环境 5、多种实时在线测控功能 6、可扩展性好

Horiba质量流量计 SEC-E40V SEC-E40V是国产化的SEC -E40, 进口核心部件，国内组装 具备自动调零功能 高精度 高速响应 配备应对各种用途的机型

horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通讯 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计Z524/Z534/SEC-Z514 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.) 数字通讯：DeviceNet

horiba高精度气体质量流量计Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

SEC-Z512多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N112系列特点：1、直接测量管道内流体的质量流量2、工作稳定可靠3、适应的流体介质面宽4、广泛的应用环境5、多种实时在线测控功能6、可扩展性好