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更新日期：2025-02-25简要描述：Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计， 量程100g/min, 精度1%。适应于低沸点液体、高粘度液体。微小液体质量流量控制器LV-F控制液体流量，液体质量流量计LF-F测量液体流量。畅销型号：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A
Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计
量程100g/min,精度1%
畅销型号：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A。
Horiba微小液体质量流量控制器LV-F、液体质量流量计LF-F，属于在线流量计，用于测量管路流量。
Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计用于控制液体流量，LF-F液体质量流量控制器、LV-F液体质量流量计采用波尔贴原理冷却液体，而非常见的热交换方法。该技术消除了低沸点液体沸腾的风险，实现更低沸点液体的安全控制。
通过采用数字回路，实现了高精度・高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以对低沸点液体、高粘度液体进行精密的流体控制。
超洁净EP级
选型要求：按以下规格确认型号，并请提供参数：介质名称、量程、接口尺寸。
名称 | 液体质量流量控制器 | ||||
型号 | LV-F20PO/LV-F20MO | LV-F30PO /LV-F30MO | LV-F40PO /LV-F40MO | LV-F50PO /LV-F50MO | LV-F60PO /LV-F60MO |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
标准接头 | 1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR | 1/8"卡套，1/8"VCR | 1/4"卡套，1/4"VCR | ||
检测控制范围 | 5〜100% F.S. | ||||
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度*2 | max值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境温度*4 | 5〜50℃(15〜45℃精度的确保) | ||||
温度影响Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% | ||||
工作差压值*5 | 0.05〜0.3MPa | ||||
耐压 | 1MPa | ||||
压力损失 | ー | ||||
流量设定信号 | 模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟：0〜5 VDC(min负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏率 | PO类型：1×10-8Pa•m3/s (He) , MO类型：5×10-12Pa•m3/s (He). | ||||
接液部材质 | PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO类型：SUS316L，Ni | ||||
名称 | 液体质量流量计（不带控制） | ||||
型号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5〜100% F.S. | ||||
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度*2 | max值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境温度*4 | 5〜50℃(15〜45℃精度的确保) | ||||
温度影響Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% | ||||
工作差压值值 | max值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo控制阀) | ||||
耐压 | 1MPa (视为流量计) | ||||
压力損失 | max值. 500Pa | ||||
流量设定信号 | 模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟：0〜5 VDC(min负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA； -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材质 | SUS316L, Ni | ||||
标准接头 | 1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR | 1/8"卡套； 1/8"VCR | 1/4"卡套， 1/4"VCR | ||
*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先确定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在所测液体中含有粒子等时，请在入口端安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以用于粘度值 max 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296为准。
*4： 进行测量/控制时，如果液体温度低于环境温度，请把温差控制在10℃以 内；如果液体温度高于高于环境温度，请把温差控制在3℃以内。
冷却测量方法
Horiba微小液体质量流量控制器LV-F、液体质量流量计LF-F的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升（ΔT），并以流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使精确的流量测量成为可能。
测量原理
Horiba微小液体质量流量控制器LV-F、液体质量流量计LF-F采用相同的测量原理。液体质量流量器LV-F60MO还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统，不会因外部因素而导致流量变化，因此确保了稳定和精确的控制。
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