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horiba高品质数字式质量流量计

  • 产品型号:SEC-Z512、Z522、Z524
  • 更新日期:2023-10-12

简要描述:horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,我公司提供进口Z514、Z524,保修期1年。

产品详情

畅销型号:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。


一、产品概述:

horiba高品质数字式质量流量计SEC-Z512、Z522、Z524属于SEC-500X系列,高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,国内多回收、二次销售,我公司提供进口Z514、Z524,保修期1年。


二、产品特点:

1)多种气体及多种流量范围,可以自由地更改气体类型及更改满量程流量,现场设定;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速响应:<1秒(全量程范围内,任意设置点);

4)非常方便的现场设置操作;

5)多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;

6)与现有模拟式质量流量控制器兼容;

7)模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

8)气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm~50slpm F.S.类型);SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100~200slpm F.S.类型)。


三、horiba高品质数字式质量流量计产品参数:

规格-数字-模拟转换模式

型号*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全标准流量(N2转换流量)

1/2SCCM

10SCCM-10SLPM

10-50SLM

阀门类型

O:通常打开 C:通常关闭

关闭控制阀时的流量

≤2% F.S.

流量测量范围

0-100% of F.S.

精确性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作温度

5-50°C(建议温度范围:15-45°C)

响应

≤1秒:超过全流量范围

直线性

≤±0.5% F.S.

反复性

≤±0.2% F.S.

工作压差值

≤300kPa(d)

zui大工作压力

450kPa(g)

耐压

1000kPa(g)

外部泄漏率

≤5x10-12Pa·m3/s(He)

流量设定信号

0.1-5V DC(2%-F.S.);输入阻抗1MΩ或更高

流量输出信号

0-5VDC(0%-F.S.);zui小负荷阻力2kΩ或更高

数字界面

地址功能:RS-485(转换速度38,400bps)

F-Net协议,DevceNet

接液部材质

316L不锈钢(表面抛光)

电源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信号反应

模拟:D-Sub 9-pin(TOP)

数字:2LAN jacks(TOP)

标准接头*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

选择:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可选1.125 inch IGS

安装方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
*2流量精度保证温度符合SEMI E56-1296标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
*3IGS:完整气体系统。
*SCCM和SLM是表示气体流量的记号。(mL/min,L/min,at0°C和101.3kPa)。


本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器。

进口数字型号:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

进口低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

进口低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S,omega FMA1815S。

国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32。

国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的阀门管件:韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,美国Valex不锈钢管,1/4"EP级不锈钢管、3/8"EP级不锈钢管、1/2"EP级不锈钢管。


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