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产品型号：SEC-N112
更新日期：2024-04-02简要描述：Horiba质量流量控制器SEC-N100系列特点：1、直接测量管道内流体的质量流量2、工作稳定可靠3、适应的流体介质面宽4、广泛的应用环境5、多种实时在线测控功能6、可扩展性好
Horiba质量流量控制器SEC-N100系列优点：
大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多种通讯方式及电源供给
特点介绍：
1、数字式/模拟式通信
RS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压）
2、可与其它系列产品兼容
复合气体/复合量程
可以方便的在客户端更改对应气体和量程
3、高精度控制：±1.0%设定流量
选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass
4、快速响应：在可控流量范围内，响应时间≦1sec
内置PID参数，可以调整响应时间
5、气阀种类：
电磁阀(~50SLM)
压电陶瓷阀(100/200SLM)
6、密封圈材质：橡胶或金属
7、气路表面：未经抛光处理
8、接口：仅有VCR接口
9、RoHS要求：满足RoHS要求
10、高精度：
±1.0% S.P.(*1)
1秒内快速响应(*1)
多气体，多量程解决方案
(*1)包括SEC-N17XR
11、多气体，多量程的功能
可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。
Horiba质量流量控制器SEC-N100系列技术参数：
型号 | 选择通讯方式 | 选择供电方式 |
SEC-N102系列 | 数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ▶0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供应电源 |
SEC-N104系列 | DeviceNet™ 通讯 | 符合ODVA标准 |
SEC-N105系列 | CC-Link®通讯 模拟式通讯 ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC) |
SEC-N106系列 | PROFIBUS™ 通讯方式 | 符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC) |
模拟式通讯 | ||
▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT®通讯方式 | 符合EtherCAT®标准24VDC ± 4V |
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