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简要描述:Horiba SEC-Z700质量流量计SEC-Z714MGX-CS属于高性能数字式质量流量控制器,是半导体中设备CVD机台、Etch机台中的气体控制核心部件
Horiba SEC-Z700质量流量计SEC-Z714MGX-CS
介绍:
质量流量控制器是一种可直接测量气体的质量流量并进行流量控制的设备。不因环境温度和使用压力等条件的变化而改变,可实现高精度且稳定的流量控制,应用于各种工业领域。
Horiba SEC-Z700质量流量计SEC-Z714MGX-CS
基本特点:
1、直接测量管道内流体的质量流量:测量准确度高、重复性好,可在较大量程范围内,直接测量流体质量流量。
2、计量的精度高:该流量计的质量流量测量精度为0.2级。
3、工作稳定可靠:流体测量管内部无障碍物和活动部件,因而可靠性高、寿命长。
4、适应的流体介质面宽:除一般粘度的均匀流体外,还可测量高粘度流体(蜂蜜、油浆等);不仅可以测量单一溶液的流体参数,还可以测量多相流;无论介质是层流还是紊流,都不影响其测量精度。
5、广泛的应用环境:适用于石油化工、化学、冶金、制药、造纸、食品、能源和环保等行业,在工艺过程的检测控制和贸易交接计量等场合,获得了广泛的应用。
6、多种实时在线测控功:除质量流量外,还可直接测量流体的密度和温度。智能化的流量变送器,可提供多种参数的显示和控制功能,是一种集多功能为一体的流量测控仪表。
7、可扩展性好:公司可根据用户需要,专门设计和制造特殊规格型号和特殊功能的质量流量计;还可进行远程监控操作等。
HORIBA集团向遍布全球各地的用户大量提供分析仪器系统及系列产品。应用范围从汽车发动机尾气排放检测的研发到过程及环境监测,体外医疗检测,半导体制造和计量,涉及范围从科技研发到质量控制测量。
实践证明,质量和值得信赖的性能赢得广大用户对HORIBA集团品牌的信任。
半导体事业部以尖锐的目光关注着半导体、FPD、LED、太阳能、光纤等细微世界的发展。由研发专家研究与开发以支持半导体制程工艺中对不同流体控制技术的需求。为满足不同市场、不同工艺需求,半导体事业部亦能提供切合客户需求的不同产品以实现匹配工艺需求。
畅销型号
数字型质量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、
低成本数字型质量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
模拟型质量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。
液体质量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。