Horiba质量流量计 D500

Horiba质量流量计 D500

· 压力不敏感性能

高性能压力补偿新功能简化了供气系统

· 多量程、多气体、多压力解决方案

新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围

· G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能

*的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试，即使提高通过量，通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。

· 高精度

*的三维调整功能提高了工艺气的流量精度

· 快速响应

响应时间：< 0.8 秒

可实现精确、稳定的流量控制

· 动态范围

控制范围广：0.2% 满量程 至 100% 满量程

Horiba质量流量计 D500

质量流量控制器： 质量流量控制器是一种可直接测量气体的质 量流量并进行流量控制的设备。

不因环境温 度和使用压力等条件的变化而改变，可实现 高精度且稳定的流量控制，应用于各种工业 领域。

HORIBA 集团向遍布全球各地的用户大量提供具有*水平的分析仪器系统及系列产品。

应用范围从汽车 发动机尾气排放检测的研发到过程及环境监测，体外医疗检测，半导体制造和计量，涉及范围从科技研发到质 量控制测量。

实践证明，质量和值得信赖的性能赢得广大用户对 HORIBA 集团品牌的信任。 半导体事业部以尖锐的目光关注着半导体、FPD、LED、太阳能、光纤等细微世界的发展。

由研发专家展开研究与开发以支持半导体制程工艺中对不同流体控制技术的需求。

为满足不同市场、不同 工艺需求，半导体事业部亦能提供切合客户需求的不同产品以实现匹配工艺需求。