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horiba高精度气体质量流量计

  • 产品型号:SEC-Z512MGX
  • 更新日期:2025-01-22

简要描述:horiba高精度气体质量流量计Z512

小量程0-2sccm,大量程0-50SLM
高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
模拟信号输出:0-5VDC,可选数字通讯RS485 F-Net协议

产品详情

Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度质量流量计


畅销型号:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212


horiba高精度气体质量流量计SEC-Z512MGX介绍:

气体质量流量计又称气体质量流量控制器,简称MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量达到期望的设定值,同时反馈实际的流量信号到上位机。

大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z512是一款高稳定性、高精度的MFC,用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,国内多回收、二次销售,

我公司提供进口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,保证全新进口,终身维修。


horiba高精度气体质量流量计SEC-Z512MGX产品特点:

1)多种气体及多种流量范围,可以自由地更改气体类型及更改满量程流量,现场设定;

2)超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);

3)快速响应:<1秒(全量程范围内,任意设置点);

4)非常方便的现场设置操作;

5)多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;

6)与现有模拟式质量流量控制器兼容;

7)可选其他数字通讯:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。


产品参数:

型号*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGX
SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z524MGX
全标准流量1/2SCCM
10-50SLM
(N2 转换流量)10SCCM-10SLPM
阀门类型O: 通常打开 C: 通常关闭
关闭控制阀时的流量≤ 2% F.S.
流量测量范围0-100% of F.S.
精确性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作温度5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)
响应≤ 1 秒:超过全流量范围
直线性≤ ±0.5% F.S.
反复性≤ ±0.2% F.S.
工作压差值≤ 300 kPa (d)
zui大工作压力450 kPa (g)
耐压1000 kPa (g)
外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量设定信号0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高
流量输出信号0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高
数字界面地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)
F-Net 协议,DevceNet
接液部材质316L 不锈钢(表面抛光)
电源+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信号反应模拟: D-Sub 9-pin (TOP)
数字: 2 LAN jacks (TOP)
标准接头*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS
选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可选1.125 inch IGS
安装方向自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。

*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。

*3IGS: 完整气体系统

*SCCM 和 SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

订购注意:

请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

如是设备备件的更换,请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。


 
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