horiba高精度气体质量流量计

horiba高精度气体质量流量计Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

畅销型号：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

气体质量流量计又称气体质量流量控制器，简称MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量达到期望的设定值，同时反馈实际的流量信号到上位机。

大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z524是一款高稳定性、高精度的MFC，用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供进口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，保证全新进口，终身维修。

horiba高精度气体质量流量计SEC-Z514MGX/Z524MGX产品特点：

1)多种气体及多种流量范围，可以自由地更改气体类型及更改满量程流量，现场设定；

2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；

3)快速响应：<1秒(全量程范围内，任意设置点)；

4)非常方便的现场设置操作；

5)多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存；

6)与现有模拟式质量流量控制器兼容；

7)可选其他数字通讯：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。

产品参数：

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。

*2流量精度保证温度符合SEMI E56-1296标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。

*3IGS：完整气体系统。

*SCCM 和 SLM是表示气体流量的记号。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)

订购注意：

请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

如是设备备件的更换，请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。