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简要描述:horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX小量程0-100SLM,大量程0-500SLM高精度:2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)模拟信号输出:0-5VDC,可选数字通讯RS485 F-Net协议
horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX属于大流量质量流量控制器,又称气体质量流量控制器,简称MFC。
SEC-Z552的量程有0-300SLM,
SEC-Z562的量程时0-500SLM。
气体质量流量控制器的功能:控制管路中的流量达到期望的设定值,同时反馈实际的流量信号到上位机。
horiba高精度气体质量流量计Z552MGX/Z562MGX是一款高稳定性、高精度的MFC,用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中。
我公司提供进口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等,
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