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horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX

  • 产品型号:
  • 更新日期:2025-03-02

简要描述:horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX

小量程0-100SLM,大量程0-500SLM
高精度:2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)
模拟信号输出:0-5VDC,可选数字通讯RS485 F-Net协议

产品详情

horiba气体质量流量计SEC-Z552MGX/Z562MGX

高精度,量程0-200SLM、0-500SLM

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX属于大流量质量流量控制器,又称气体质量流量控制器,简称MFC

SEC-Z552的量程有0-300SLM,

SEC-Z562的量程时0-500SLM。


气体质量流量控制器的功能:控制管路中的流量达到期望的设定值,同时反馈实际的流量信号到上位机。


horiba高精度气体质量流量计Z552MGX/Z562MGX是一款高稳定性、高精度的MFC用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中。


公司提供进口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等,


产品参数

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX





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