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简要描述:horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGXIGS接口,EtherCat通讯小量程0-2sccm,大量程0-50SLM高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)模拟信号输出:0-5VDC,可选数字通讯RS485 F-Net协议
畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
horiba高精度气体质量流量计Z512 又称气体质量流量控制器,简称MFC。
主要功能是:控制器管路中的流量达到期望的设定值,同时反馈实际的流量信号到上位机。
大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z512是一款高稳定性、高精度的MFC,用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,国内多回收、二次销售,
我公司提供进口
SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,
保证全新进口,终身维修。
产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1秒 (全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 可选其他数字通讯:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。
horiba高精度气体质量流量计Z512 horiba高精度气体质量流量计Z512
产品参数
规格-数字-模拟转换模式 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 订购注意: 请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。 如是设备备件的更换,请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。 |