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horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX

  • 产品型号:SEC-Z517MGX
  • 更新日期:2024-10-14

简要描述:horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX

IGS接口,EtherCat通讯

小量程0-2sccm,大量程0-50SLM
高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)
模拟信号输出:0-5VDC,可选数字通讯RS485 F-Net协议

产品详情

Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度质量流量

畅销型号: SEC-Z514MGXSEC-Z524MGMSEC-Z512SEC-Z522

可选低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGM

可选低成本模拟型:SEC-E40SEC-E50SEC-E60SEC-E40MK3

国内组装模拟型:Horiba S48 28horiba S48 32S300

国内组装数字型:S600 BR212S600 BR222S600 BM212S600 BM222S600 BR226S600 BM226S600 CR212S600 CR222S600 CR226S500BR212S500BM212  

   

horiba高精度气体质量流量计Z512 又称气体质量流量控制器,简称MFC

主要功能是:控制器管路中的流量达到期望的设定值,同时反馈实际的流量信号到上位机。

大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z512是一款高稳定性高精度的MFC,用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,国内多回收、二次销售,

我公司提供进口

SEC-Z512MGXSEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,

保证全新进口,终身维修


产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1(全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 可选其他数字通讯:DeviceNetEtherCATCC-Link、模拟信号。


horiba高精度气体质量流量计Z512 horiba高精度气体质量流量计Z512

产品参数

规格-数字-模拟转换模式

型号*1

SEC-Z512Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全标准流量
(N2 转换流量)

1/2SCCM


10SCCM-10SLPM

10-50SLM

阀门类型

O: 通常打开 C: 通常关闭

关闭控制阀时的流量

≤ 2% F.S.

流量测量范围

0-100% of F.S.

精确性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作温度

5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)

响应

≤ 1 :超过全流量范围

直线性

≤ ±0.5% F.S.

反复性

≤ ±0.2% F.S.

工作压差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作压力

450 kPa (g)

耐压

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量设定信号

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高

流量输出信号

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高

数字界面

地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)

F-Net 协议,DevceNet

接液部材质

316L 不锈钢(表面抛光)

电源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信号反应

模拟: D-Sub 9-pin (TOP)

数字: 2 LAN jacks (TOP)

标准接头*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可选1.125 inch IGS

安装方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
*3IGS: 完整气体系统
*SCCM SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

订购注意:

请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

如是设备备件的更换,请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。




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