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简要描述:UR-Z732M-B控制该压力控制器前端的压力。horiba数字式压力控制器UR-Z732MB控制压力范围10-500KPa, 数字通讯消除后端压力变动对前端腔体压力的影响(入口控制型)
UR-Z732M-B horiba数字式压力控制器UR-Z732MB
控制压力范围10-500KPa, 数字通讯
畅销型号:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。
horiba数字式压力控制器UR-Z732MB是horiba UR-Z700中的一款,控制该压力控制器前端的压力。
horiba数字式压力控制器UR-Z732MB是高性能自动压力控制阀配备电子调节阀,
带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。
horiba UR-Z700根据通讯模式,选择不同型号:
支持模拟输出和RS485通讯:UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、
支持DeviceNet™ 通讯模式:UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B
horiba数字式压力控制器UR-Z732MB
产品性能:
· 分两种应用:入口控制型(-M-B 型)和出口控制型
· 消除大流量气路切换引起的串扰影响(出口控制型)
· 快速响应:0.5 秒内
· 灵活的设计:可以安装在任何位置,适用于各种气体供应系统
· 进气压力多种选择:表压、绝对压力
· 符合 RoHS 标准(UR-Z714、UR-Z724、UR-Z734)
· 超洁净:全金属结构
horiba数字式压力控制器UR-Z732MB
参数表
产品背面图
产品安装孔图
周边产品
Horiba品牌介绍
HORIBA是全球著名的半导体设备供应商,主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。
畅销型号
数字型质量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、
低成本数字型质量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
模拟型质量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。
液体质量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。
售后服务
Horiba有完善的售后服务。在上海嘉定有专门的售后服务部,全国各主要城市有售后工程师常驻,产品出现问题在12小时内相应。
配套的阀门管件:韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,
美国Valex不锈钢管,1/4"EP级不锈钢管、3/8"EP级不锈钢管、1/2"EP级不锈钢管。