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horiba数字式压力控制器

  • 产品型号:UR-Z712M-B
  • 更新日期:2024-12-09

简要描述:UR-Z712M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z712中的畅销款,控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar, 数字通讯;
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响(入口控制型)。

产品详情

UR-Z712M-B horiba数字式压力控制器UR-Z712

控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar,数字通讯

畅销型号:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z712M-B是UR-Z700中的一款,控制该压力控制器前端的压力。

UR-Z700系列是高性能自动压力控制阀配备电子调节阀,带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模拟输出和RS485通讯

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B支持DeviceNet™通讯模式。

horiba数字式压力控制器UR-Z712M-B产品性能:

·分两种应用:入口控制型(-M-B型)和出口控制型

·消除大流量气路切换引起的串扰影响(出口控制型)

·快速响应:0.5秒内

·灵活的设计:可以安装在任何位置,适用于各种气体供应系统

·进气压力多种选择:表压、绝对压力

·符合RoHS标准(UR-Z704系列)

·超洁净:全金属结构

参数表:

horiba数字式压力控制器

产品背面图

产品安装孔图

周边产品:

horiba数字式压力控制器

Horiba品牌介绍:

HORIBA是全球著名的半导体设备供应商,主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。

畅销型号:

数字型质量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG

低成本数字型质量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM

模拟型质量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液体质量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M

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