horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3

horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3

控制压力范围0.02Bar-9.5Bar， DeviceNet数字通讯， IGS接口

畅销型号：UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、UR-Z717M、UR-Z717-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-B是UR-Z700系列的畅销款，控制该压力控制器前端的压力，数字式DeviceNet通讯，可以选择IGS管路接口，也可选择1/4"MVCR接口。

horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3 是UR-Z714M-B的模块化接口IGS形式。节省控制尺寸，实现管路的模块化设计。

概述

HoribaSTEC UR-Z700系列是高性能自动压力控制器，又称UPC，带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模拟输出和RS485通讯

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通讯模式。

UR-Z717M、UR-Z727M、UR-Z737M、UR-Z717M-B、UR-Z727M-B、UR-Z737M-B 支持EtherCAT通讯模式。

产品性能:

· 分两种应用：入口控制型（-M-B 型）和出口控制型

· 消除大流量气路切换引起的串扰影响（出口控制型）

· 快速响应：0.5 秒内

· 灵活的设计：可以安装在任何位置，适用于各种气体供应系统

· 进气压力多种选择：表压、绝对压力

· 符合 RoHS 标准（UR-Z704 系列）

· 超洁净：全金属结构

参数表

产品背面图

horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3

应用案例

周边产品

Horiba品牌介绍：

HORIBA是全球著名的半导体设备供应商，主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。

压力控制器畅销型号

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

与horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3 配套的有 质量流量计，质量流量控制器

畅销型号：

SEC-D500、SEC-Z700X、SEC-Z700S

进口高性能数字型号: SEC-Z512KX、SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

液体质量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、

液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。

用于质量流量计标定的皂膜流量计SF-1U、SF-2U。

horiba数字式压力控制器UR-Z714M IGS 14W3在MOCVD中的应用。

电力电子领域的许多行业使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)作为激光二极管、LED和半导体制造的标准工艺。MOCVD工艺是一种可控的合成方法，它使用了多种MO源，如三甲基铟(TMI)和二乙基锌(DEZ)，需要一种稳健的传递方法，以确保沉积过程的重复性和高收率。MOCVD系统利用起泡器汽化，从而控制MO源浓度、生长时间和生长速率。部分MO源用载气流带出源瓶，并从起泡器流向腔室。在这个过程中捕获的MO源的浓度必须是已知的，而且最重要的是必须具有重复性，以提供最大的工艺效率。实现这一目标需要精确、快速和理想的过程变量的闭环控制，包括气体流量、温度和压力。

HORIBA的MOCVD产品组合为MOCVD沉积工艺的所有变化提供了解决方案，包括高精度热质量流控制器(MFC)SEC-Z512、背压压力控制器UR-Z714M-B和非色散红外光谱(NDIR)浓度监视器，已被证明可用于挑战性的MOCVD应用。HORIBA还提供了一种干涉测量终点监测技术，可应用于关键工艺环境。