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horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

  • 产品型号:UR-Z714M-B
  • 更新日期:2024-11-14

简要描述:UR-Z714M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3中的畅销款,控制该压力控制器前端的压力。
控制压力范围20-950KPa,
Devicenet数字通讯
接口IGS IGS 14W3
消除后端压力波动对前端腔体压力的影响(入口控制型)

产品详情


UR-Z714M-B horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar 数字通讯, IGS接口

畅销型号:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-BUR-Z700中的一款,控制该压力控制器前端的压力。

UR-Z700系列是高性能自动压力控制阀配备电子调节阀,带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。

管路接口可选择 IGS 14W3

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732MUR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B支持模拟输出和RS485通讯

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734MUR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通讯模式。

horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

产品性能:

· 分两种应用:入口控制型(-M-B 型)和出口控制型

· 消除大流量气路切换引起的串扰影响(出口控制型)

· 快速响应:0.5 秒内

· 灵活的设计:可以安装在任何位置,适用于各种气体供应系统

· 进气压力多种选择:表压、绝对压力

· 符合 RoHS 标准(UR-Z704 系列)

· 超洁净:全金属结构

horiba数字式压力控制器UR-Z712


参数表

horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

产品背面图


horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3


产品安装孔图


周边产品



horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

Horiba品牌介绍

HORIBA是全球著名的半导体设备供应商,主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。


畅销型号

数字型质量流量控制器: SEC-Z512MGXSEC-Z522MGMSEC-Z532MGSEC-Z542MGSEC-Z514MGXSEC-Z524MGMSEC-Z534MGSEC-Z544MGSEC-Z712MGXSEC-Z722MGMSEC-Z732MGSEC-Z714MGXSEC-Z724MGMSEC-Z734MG

低成本数字型质量流量控制器SEC-N112MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGMSEC-N172RSEC-N114MGMSEC-N124MGMSEC-N134MGMSEC-N116MGMSEC-N126MGMSEC-N117MGMSEC-N127MGM

模拟型质量流量控制器SEC-E40MK3SEC-E50MK3SEC-E40VSEC-E50VSEC-E431XSEC-E441XSEC-E531SEC-E541

液体质量流量控制器:LV-F20POLV-F30POLV-F30POLV-F40 POLV-F50 POLV-F60PO

液体质量流量计LF-F20MLF-F30MLF-F40MLF-F60M





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