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horiba数字式压力控制器压力调节阀

  • 产品型号:UR-Z712M-B
  • 更新日期:2025-02-06

简要描述:UR-Z712M-B是horiba数字式压力控制器压力调节阀中的畅销款,
控制该压力控制器前端的压力。

控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar, 数字通讯;
主要功能消除后端压力波动对前端腔体压力的影响(入口控制型)。

产品详情

UR-Z712M-B horiba数字式压力控制器压力调节阀UR-Z712

控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar,数字通讯


畅销型号:UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。


UR-Z712M-B是UR-Z700中的一款,控制该压力控制器前端的压力。

UR-Z700系列是高性能自动压力控制阀配备电子调节阀,带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模拟输出和RS485通讯

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B支持DeviceNet™通讯模式。

horiba数字式压力控制器压力调节阀UR-Z712M-B产品性能:

·分两种应用:入口控制型(-M-B型)和出口控制型

·消除大流量气路切换引起的串扰影响(出口控制型)

·快速响应:0.5秒内

·灵活的设计:可以安装在任何位置,适用于各种气体供应系统

·进气压力多种选择:表压、绝对压力

·符合RoHS标准(UR-Z704系列)

·超洁净:全金属结构

参数表:

horiba数字式压力控制器压力调节阀

产品背面图

产品安装孔图

horiba数字式压力控制器压力调节阀


周边产品:

horiba数字式压力控制器压力调节阀

Horiba品牌介绍:

HORIBA是全球著名的半导体设备供应商,主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。


压力控制器畅销型号

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。


与压力控制器 配套的有 质量流量计,畅销型号:

进口高性能数字型号: SEC-Z512KXSEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z532MGXSEC-Z514KX、SEC-Z514MGXSEC-Z524MGXNSEC-Z534MGXSEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

进口低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N116MGMSEC-N122MGMSEC-N124MGM、SEC-N132MGMSEC-N142MGMSEC-N172RSEC-N176R.


模拟型质量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液体质量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M




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