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更新日期：2025-02-20简要描述：晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F GR312F，热门型号是GR-511F，又称压力自动调节阀，用于半导体晶圆生产中晶圆背面压力的控制器，实现冷却系统的冷却功能。
晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F
控制压力10torr、20torr、50torr
晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F又称压力自动调节阀，
用于半导体晶圆生产中晶圆背面的微小压力控制，实现冷却系统的冷却功能，减少晶圆的热损伤。
晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F是压力控制器GR500F系列中的热门型号，是压力自动调节阀GR-312F的升级产品，稳定性更好，满足晶圆生产中更严格的工艺要求。
晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F最小压力控制器可以到1.3kpa.
特征
GR-511F是GR-312F的升级产品，Wafer背压控制；
压力控制更稳定、精度0.5%；
可选择流量信号反馈；
RoHS 认证
技术参数
型号 | GR-511F |
阀门类型 | C: 常闭 |
泄漏率 | ≤ 7 × 10-11 Pa·m3 /s (He) |
工作压力上限 | 300 kPa (A) |
耐压 | 350 kPa (A) |
工作温度 | 5-50 °C (Accuracy guaranteed temp : 15-40 °C) |
电源 | +15 VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA |
功率 | 7.5 VA |
输出信号 | Analog |
气体 *1 | He, Ar, N2 |
接口 | 1/4 inch VCR |
压力量程 | 1.333 kPa (A) (10 Torr), 2.666 kPa (A) (20 Torr), |
压力控制范围 | 1-100 %F.S. |
精度 *2 | ±0.5 %R.S. |
零点/温度系数 | ±0.04 %F.S./°C |
量程/温度系数 | ±0.04 %R.S./°C |
相应时间*3 | ≤ 1 sec |
输入模拟信号 | 0.1-10 VDC (1-100 %F.S.) Input impedance ≥ 1 MΩ |
输出模拟信号 | 0-10 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ |
流量满量程 *1 | 20, 50, 100 SCCM |
流量精度 *4 *5 | ±1 %R.S. (Flow rate > 25 %F.S.) |
流量输出信号 | 0-5 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ |
材质 | SUS316L |
安装方向 *6 | Free |
重量*7 | 1.5 kg |
实物图片
GR-511F、IGS接口14C3
应用案例
热门型号：GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD
UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。
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