产品中心/ products

您的位置:首页  -  产品中心  -  horiba  -  horiba压力控制器  -  晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F

晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F

  • 产品型号:
  • 更新日期:2025-02-20

简要描述:晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F GR312F,热门型号是GR-511F,又称压力自动调节阀,
用于半导体晶圆生产中晶圆背面压力的控制器,实现冷却系统的冷却功能。

产品详情

晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F

控制压力10torr、20torr、50torr


晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F又称压力自动调节阀,

用于半导体晶圆生产中晶圆背面的微小压力控制,实现冷却系统的冷却功能,减少晶圆的热损伤。

 

 晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F是压力控制器GR500F系列中的热门型号,是压力自动调节阀GR-312F的升级产品,稳定性更好,满足晶圆生产中更严格的工艺要求。


晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F最小压力控制器可以到1.3kpa.


特征

  • GR-511F是GR-312F的升级产品,Wafer背压控制;

  • 压力控制更稳定、精度0.5%

  • 可选择流量信号反馈;

  • RoHS 认证



技术参数

 

型号

GR-511F

阀门类型

C: 常闭

泄漏率

≤ 7 ×   10-11 Pa·m3 /s (He)

工作压力上限

300   kPa (A)

耐压

350   kPa (A)

工作温度

5-50   °C (Accuracy guaranteed temp : 15-40 °C)

电源

+15   VDC±5 %, 250 mA -15 VDC±5 %, 250 mA

功率

7.5 VA

输出信号

Analog

气体 *1

He,   Ar, N2

接口

1/4   inch VCR

压力量程

1.333   kPa (A) (10 Torr),

2.666   kPa (A) (20 Torr),
  6.666 kPa (A) (50 Torr)

压力控制范围

1-100   %F.S.

精度 *2

±0.5   %R.S.

零点/温度系数

±0.04   %F.S./°C

量程/温度系数

±0.04   %R.S./°C

相应时间*3

≤ 1   sec

输入模拟信号

0.1-10   VDC (1-100 %F.S.) Input impedance ≥ 1 MΩ
  Option:0.05-5 VDC (1-100 %F.S.) Input impedance≥ 1 MΩ

输出模拟信号

0-10   VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ
  Option:0-5 VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ

流量满量程 *1

20,   50, 100 SCCM

流量精度 *4 *5

±1   %R.S. (Flow rate > 25 %F.S.)
  ±0.25 %F.S. (Flow rate ≤ 25 %F.S.)

流量输出信号

0-5   VDC (0-100 %F.S.) Minimum resistance 2 kΩ

材质

SUS316L

安装方向 *6

Free

重量*7

1.5 kg












实物图片

GR-511F、IGS接口14C3


晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F




应用案例

晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F



热门型号:GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。


周边产品

  horiba质量流量控制器,热门型号

SEC-Z717SMGC、SEC-Z727SMGC、SEC-Z717MGC、SEC-Z717MGC、


HORIBA 是气体和液体质量流量控制器制造商之一,拥有一系列模拟、数字和高温质量流量控制器以及使用点液体源汽化控制和输送系统。

HORIBA 可以为您的涂层工艺生产线提供稳定的控制,如化学气相沉积 (CVD),原子层沉积 (ALD),金属有机化学气相沉积 (MOCVD) PVD (物理气相沉积),等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 和金刚石沉积或金刚石涂层 (DLC)。我们的产品提供全面的流体控制和过程监控,以提高产量,增加吞吐量,并为您的涂层过程提高效。


本公司同时提供日本HORIBASTEC的质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器、数字压力自动调节阀、压力控制器、薄膜硅真空计、汽化器、残余气体分析仪。







在线咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
公司简介  >  在线留言  >  联系我们  >  
产品中心
horiba

CONTACT

办公地址:上海市浦东新区峨山路77号

TEL:021-50100962,19

EMAIL:1184645115@qq.com
扫码微信联系
版权所有©2025 上海进佳科学仪器有限公司 All Rights Reserved   备案号:沪ICP备12047777号-3   sitemap.xml技术支持:化工仪器网   管理登陆