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Horiba直接注入式汽化器VC-1420

  • 产品型号:
  • 更新日期:2025-03-06

简要描述:Horiba直接注入式汽化器VC-1420能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源,组建更紧凑的汽化系统。
在测试工艺过程中控制气体比例和湿度平衡相当困难,可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度:气体 MFC(SEC-Z512MGX、N112MGX、)、液体 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000)。

产品详情

Horiba直接注入式汽化器VC-1420

直接液体注入系统

在半导体测试工艺过程中控制气体比例和湿度平衡相当困难可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度:气体 MFC(SEC-Z512MGXN112MGX、)、液体 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000)。


Horiba直接注入汽化器VC-1420能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源,组建更紧凑的汽化系统。

HORIBA 可为您提供由 Horiba直接注入式汽化器VC-1420和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统:

· 一种用于流量测量的液体质量流量计

· 一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器

· 阀门、过滤器、加热器等

特征

· 尺寸紧凑

· 可安装在各种位置

· 畅销的 TEOS 汽化系统

· 结合 SEF 或 LF,可实现数字控制

· 无需特殊鼓泡罐或汽化罐

· DeviceNetTM 型产品系列

· 符合 RoHS 标准


技术参数

Horiba直接注入式汽化器VC-1420


外形尺寸图

Horiba直接注入式汽化器VC-1420

HORIBA 是高性能汽化系统的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程,可以安全有效地将液相化学品以气相形态输送至使用点。无论液态化学品是需要在真空下还是大气压下汽化,HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化系统。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

畅销型号:VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.


 

汽化器注入式方法

以下是将液体源气化并输送入反应腔的主要步骤。

1.测定液体源的流量,并通过反馈电路,控制阀门开度。

2.液体瞬间全部气化。

3.气体被释放,且不会变回液相状态。

气化系统采用注入式的方法继而按以上1,2,3步进行传输。

 

汽化器VC-1420采用内置质量流量计测量液体流量,因此不再需要其他载气。


 

汽化器VC与其他设备组合使用


汽化器MI-1000、汽化器MV-2000需要配置液体流量计LF-A、载气流量控制器SEC,来实现液体源汽化。



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