Horiba 压力控制器GR-312F GR-314F GR-317F

应用于晶圆背面压力控制器

畅销型号：GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD

UR-Z712M、UR-Z712M-B、UR-Z722M、UR-Z722M-B、UR-Z732M、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B。

Horiba 压力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的畅销产品，实现晶圆背面气体的压力控制器，该气体用于冷却晶圆表面温度。

Horiba 压力控制器GR-312F GR-314F GR-317F拥有高的稳定性和精确性，常用气体是氦气和氩气。

GR312F压力控制器是0-5V或者RS485通讯，可以选择GR317F，实现EtherCAT通讯。

特征

· 压力控制更加稳定和精确

· 质量流量测量（可选）

· RS485通讯、EtherCAT通讯

· 符合 RoHS 标准

Horiba压力控制器

技术参数

产品实物图

应用示例

在以下示例中，GR-312F、GR-314F、GR317F正在控制用于冷却晶圆背面的气体，晶圆通过静电卡盘系统固定。

周边产品：

Horiba品牌介绍：

HORIBA是全球著名的半导体设备供应商，主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。

本公司同时提供日本HORIBASTEC的质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器、数字压力自动调节阀、压力控制器、薄膜硅真空计、汽化器、残余气体分析仪。

压力控制器畅销型号

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

Horiba 压力控制器GR-312F GR-314F GR-317F与压力控制器 配套的有 质量流量计，畅销型号：

进口高性能数字型号: SEC-Z512KX、SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

进口低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N176R.

模拟型质量流量控制器：SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液体质量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M

本公司同时提供日本HORIBASTEC的质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器、数字压力自动调节阀、压力控制器、薄膜硅真空计、汽化器、残余气体分析仪。