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Horiba SEC-Z700质量流量计SEC-Z714MGX-CS属于高性能数字式质量流量控制器,是半导体中设备CVD机台、Etch机台中的气体控制核心部件
Horiba质量流量计D500系列具有压力非敏感性,自带显示功能,控制范围广,可应对多种气体、多种量程、不同压力条件,适用于高精工艺需求。
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