SEC-Z522MGX horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计SEC-Z514MGX/Z524MGX$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n数字通讯：DeviceNet

horiba高精度气体质量流量计Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

数字式气体质量流量计SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100$n特点：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受压力影响；3、可选多种数字通讯：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba气体质量流量计SEC-N172R/SEC-N176R特点： 通讯模式：数字式、模拟式； 满量程范围 ：0-300SLM , 可选0-500SLM，0-1000SLM； 模拟输出、数字通讯二选一。

Horiba自动压力控制器R600基本特点： 1、控制类型：背压控制 2、压力范围：300kpa 3、阀门类型: 电磁阀（常闭） 4、输出：模拟0-5V或者数字RS485

Horiba质量流量计SEC-8000系列特点： 高精度±1.0%设定点 高速响应 超洁净设计 符合RoHS标准

SEC-Z500X系列 Horiba质量流量计高精度±1.0%设定点。该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由HORIBA STEC公司的标准气体测量系统测量。 高速响应：装配“可变PID系统”，可在任意两个设定点之间实现1秒响应。可变PID根据流量点设置不断变化。

horiba流量计SEC-Z700S可以直接测量管道内流体的质量流量，测量精度为0.2级，流体测量管内部无障碍物和活动部件，因而可靠性高、寿命长。